KDK-KDY-4型四探针电阻率测试仪严格按照硅片电阻率测量的标准(ASTM F84)及标准,并针对目前常用的四探针电阻率测试仪存在的问题加以改进。整套仪器有如下特点: 1、配有双数字表:一块数字表在测量显示硅片电阻率的同时,另一块数字表适时监测过程中的电流变化,使操作简便,测量。 数字电压表量程:0—199.9mV 灵敏度:100μV 输入阻抗:1000ΜΩ 基本误差±(0.4-0.5%读数+0.1%满度) 2、可测电阻率范围:10—3 —1.9×103Ω·cm。 可测方块电阻范围:10—2 —1.9×104Ω/□。 3、设有电压表自动复零功能,当四探针头1、4探针间未有测量电流流过时,电压表指零,只有1、4探针接触到硅片,测量电流渡过单晶时,电压表才指示2、3探针间的电压(即电阻率)值,避免空间杂散电波对测量的干扰。 4、流经硅片的测量电流由高度稳定(万分之五度)的特制恒流源提供,不受气候条件的影响,整机测量度<3%。 电流量程分五档:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。 5、仪器采用触点电阻低(<5mΩ)、使用寿命长的转换开头及继电器(>10),在缘电阻、电流容量方面留有大的安系数,提高了测试仪的性和使用寿命。 6、四探针头采用上的红宝石轴套导向结构,使探针的游移率减小,测量重复性提高
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