流量控制器 型号;HAD-D07-7B
HAD-D07-7B型 流量控制器
仪器简介:
流量控制器(MFC)用于对气体的流量进行地测量和控制。用于电子设备、真空镀膜、 石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
参数:
满量程流量范围(N2)
5SCCM~10SLM
控制范围
2~100%F.S.
阀类型(及阀初始状态)
电磁调节阀(常闭)
度
±1.5%F.S.
线性
±0.5~1.5%F.S.
重复度
±0.2%F.S.
响应时间
≤7sec
工作温度范围
5~45℃
工作压差
0.1~0.5MPa
耐压
3MPa
漏气率
1×10-8atm.cc/sec He
密封材料
氟橡胶(或氯丁橡胶)
电插头形式
DB15 pin(Female)
接头选择
VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose Swagelok 1/4”或φ6、φ3
重量
1.1Kg
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